三坐标测量机简称CMM，自六十年代中期第一台三坐标测量机问世以来，随着计算机技术的进步以及电子控制系统、检测技术的发展，为三坐标测量机向高精度、高速度方向发展提供了强有力的技术支持。CMM测量方式可分为接触测量和非接触测量以及接触和非接触并用式测量，早期的CMM主要用于计量与检测，随着先进制造技术的发展，尤其FMS技术广泛的应用，使三坐标测量机在反求工程中的地位日益受到重视。