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供应高真空排气单元
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所在地： 广东 佛山市南海区
■主要参数 (Specifications) ※当客户使用自己指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统时，请询问相关事项。 ■特点（Features） 干净排气?真空 结构紧凑 操作性能好 ■使用用途 (Applications) ■选择项（Option） 涡轮分子泵 其他
型号
ModelVTC-050 VTC-150 法兰内径
Flange size吸气口Inlet ICF114 ICF152 排气口Outlet NW16 NW16 涡轮分子泵排气速度
TMP pumping speedN2 L/s 50 190 H2 L/s 40 160 最后压力 Ultimate pressure Pa 10-6台（无热烘No baking） 噪音Noise level dB(A) 60 粗辗真空泵 Foreline pump ISP-250B-SV 输入电压 Voltage V 单相Single phase 100 重量 Weight kg 49 54 外形尺寸Dimensions mm W 350×L 490
×H 591W 350×L 490
×H 638选项Optional parts 箱、真空计、自动阀等
Chamber, Vacuum gauge, automatic value型号
ModelVTU-050 VTU-500 法兰内径
Flange size吸气口Inlet ICF114 ICF203 排气口Outlet NW16 NW25 涡轮分子泵排气速度
TMP pumping speedN2 L/s 50 550 H2 L/s 40 500 最后压力 Ultimate pressure Pa 10-6台（无热烘No baking） 噪音Noise level dB(A) 56 60 粗辗真空泵 Foreline pump ISP-90 ISP-500B-SV 输入电压 Voltage V 单相Single phase 100 重量 Weight kg 25 93 外形尺寸Dimensions mm W 350×L 340
×H 285W 430×L 570
×H 740选项Optional parts 箱、真空计、自动阀等
Chamber, Vacuum gauge, automatic value
If you have any preference of turbo molecular pump, it could be chosen.
在未指定时，按三菱重工业株式会社制造的涡轮分子泵配置。
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采用涡轮分子泵与无油涡旋式真空泵组合方式，完全干燥干净的高 真空排气系统。■
由于非常紧凑且安装占地面积少，可在现在已使用中的装置近旁安装。且附脚轮便于移动。■
本高真空排气系统具有涡旋真空泵和涡轮分子泵分别单独运行的手动操作和一个按钮同时开始两泵运行的自动操作※等两种方式。可按用途选择。 ※在进行自动操作时，对包含箱和配管部件的容量有限制。■加速器(Accelerator) ■X线分析装置 (X-ray Fluorescence Spectroscopy) ■同步加速器放射(Synchrotron Radiation) ■电子显微镜(SEM/TEM) ■泄漏测试 (Leak Test) ■各种试验?分析装置(Various Analyzers) ■重量分析装置 (Mass Spectrometer) ■辅助高 真空排气装置 ■表面分析装置 (Surface Analyzer) ■其他 ■
可用客户指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统。
请询问涡轮分子泵的的安装方向。■
箱、真空计、自动阀等可选部分按您的需求安装。
咨询服务专员
