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供应SIS系列白光干涉仪
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产品特点： 1、非接触式测量：避免对象受损。 2、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。 3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。 5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。 6、扫描仪：采用死循环控制系统。 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 8、测量软件：基于windows操作系统的使用者接口，强大而快速的运算。 应用领域： 1、半导体芯片 2、液晶产品（CS,LGP,BIU） 3、微机电系统 4、光纤产品 5、资料存储盘（HDD,DVD,CD） 6、材料研究 7、精密加工表面 8、生物医学工程 机型 SIS 1200 SIS 2000 工作台 尺寸 250 mm×174 mm 350mm×350mm 倾斜度 ±3° 测量行程 X:150mm Y:100mm X:200mm Y:200mm Z轴行程 50mm 100mm 运动方式 手动 自动，马达驱动 扫描速度 30μm/sec 垂直分辨率 0.1 nm CCD 黑白CCD，640×480像素 物镜安装架 手动导引五孔式 手动5个位移的可定位夹具 镜头选配 镜头：5×、10×、20×、50× 系统参数： 测量技术 增强相位扫描干涉 相位移动干涉 放大率 2.5X 5X 10X 20X 50X 视场(mm) 3.62×2.72 1.81×1.36 0.90×0.68 0.45×0.34 0.18×0.13 横向分辨率 4.72μm 2.72μm 1.18μm 0.88μm 0.64μm 控制器 计算机 软件 i2000 and SNU Map Windows 2000环境下运行 扫描仪 死循环控制 抗震工作台 气动装置
