所在地: 辽宁 锦州市太和区
技术指标最高使用温度:1500℃沉积室均温区尺寸:φ1200×1500三点测温不均匀度:1000℃≤±10℃满载升温时间:R.T-1500℃,≤5小时冷态空炉极限真空:≤30Pa≤20min
技术指标
最高使用温度:1500℃
沉积室均温区尺寸:φ1200×1500
三点测温不均匀度:1000℃≤±10℃
满载升温时间:R.T-1500℃,≤5小时
冷态空炉极限真空:≤30Pa≤20min
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